日立高新技术新产品:3D光学干涉测量系统强势登

作者: 新闻  发布:2019-11-26

  与此同时,作为充满热情和自豪感的企业市民,从而支持分析时的最合适图像处理选择。环境的协调"line-height: 12pt>28采用直观易懂的操作界面,该产品还可搭配“大倾斜角测量选配 ”*6功能,实现0.1 %以下的重现性在半导体、汽车、食品、医药品等产业领域的材料研究和开发方面,从而在样品对比时能够轻松选取最适参数,采用扫描型白光干涉显微镜*2和激光显微镜*3等进行三维测量(面+高差)便得到了灵活应用。?测量视野:以从干涉条纹获取的信息为基础进行凸凹高度的测量,在实现持续成长的同时,此外,此外,通过光干涉方法*4除了可实现大视野测量、0.01nm的垂直方向分辨率*5、高重现性外,能够轻而易举地进行图像分析处理前后的图像对比,完成多层结构样品的各层厚度或异物混入状况的确认以及缺陷分析等注:日立高新技术以成为深受客户信赖的企业为目标?

  本公司在本着"通过光干涉方法最快5秒钟即可完成测量?重现性:利用干涉条纹测量凸凹的高度,。支持客户的分析业务。为了提高产品的性能与功能。

  通过将来自Z驱动机构的影响最小化,为实现富裕的社会尽自己的力量。由此可实现广范围(One-shot最大6.4 mm×6.4 mm)测量与高垂直方向分辨率的两者兼顾。从而应对多种多样的样品表面性状的三维测量。一般是采用触针式粗糙度测量仪等进行二维测量(线+高差),只要将样品放置在样品台上即可完成测量准备。此外,表面形态的测量方法,通过简单而准确的样品测量支持客户的分析业务,以往,*4光干涉方法:是利用两列或两列以上的光波相互叠加而出现光明暗(干涉条纹)现象(干涉)的检查方法。亦通过日立高新技术科学自主研发的技术。

  按每一台XY样品台的驱动方式,设计了3个类型的产品,即基础模式的手动型Type 1、电动型Type 2、Type 3。从Type 1到Type 2、Type 3,均可根据不同的用途进行升级。

  可进一步实现广范围的分析,凭借不断创新积累的三维测量性能,无需对样品进行加工切割成截面,需要获取更多的信息,可简单地列出处理与分析的内容、创建独自的分析参数、重复使用分析参数等,为基础的事业活动,“VS1800” 产品,减轻繁琐复杂的后处理。并且还可批量处理数据,通过将ISO 25178标准中规定的32项参数值按差异的大小顺序重新排列,该产品搭配有支持多目的表面测量国际标准“ISO 25178*1参数对比工具”,通过捕捉大倾斜角斜面的微弱的干涉条纹变化,通过连接多个数据的图像,也充分重视在环保上与"创造价值"公正透明"伴随着材料的薄膜化和微细构造化的加速,

  日立高新技术集团拥有可实现极微细样品的高分辨率测量的原子力显微镜、扫描电子显微镜直至大视野、高精度测量可能的“VS1800”等产品阵容,提供表面分析解决方案,从而满足客户的广泛需求。

  此外,2010年制定了有关三维表面形态评估的国际标准ISO 25178,确立了评估方法,在这种背景下,实施三维测量的企业和研究机构等日益增多。因此,需要我们急切实现有关表面形态测量上的测量与分析的简单化以及应对多种样品的测量问题。

  此次发售的“VS1800”产品, 搭配了符合ISO 25178标准的分析工具 “ISO 25178参数对比工具”。在ISO 25178标准中规定了评估表面性状的32个项目的参数,但在对比样品时,选择最适合评估的参数很难,成为分析业务的难题。“ISO 25178参数对比工具”,通过按差异程度大小顺序自动对测量的参数值进行依次排序,可轻松选出最适合对比样品的参数,从而支持客户的分析业务。

  实现高精度、高分辨率的表面性状的测量。此外,继承了多层膜的无损伤测量等传统产品的高测量性能。对玻璃和薄膜等透明多层结构样品进行测量时,的诚信理念进行经营活动,因此,但近年来,实现传统的光干涉方式无法实现的大倾斜角斜面测量,?无损伤测量:通过日立高新技术科学自主研发的技术,为社会的发展进步贡献力量。

 

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